上世纪70年代中期，美国和德国首先将分子筛技术应用于空气分离。1985年，美国的Praxair公司研制出第一台小型制氧机，这标志着分子筛技术小型化的开始。在装置规模上，分子筛制氧机正朝着大型化、微型化和高纯度三个方向发展。微型化方面，微型变压吸附制氧技术主要用于医用保健制氧机，它要求制氧机具有体积小、重量轻、移动方便、噪音小和能耗低的特点。同时，微型制氧机的循环工艺流程也在不断发展中。
医用制氧机发展历程
随着医疗手段的改进，医用制氧机在国内已逐步推广使用，它克服了瓶装氧气及液态氧的缺点与隐患。目前已成为医院中心供氧工程中的一个重要组成部分，其优良的安全性、可靠性、经济性为医院所首肯。
据统计2021年我国制氧机行业销售收入为98.90亿元，同期国内进口金额为0.10亿元，出口金额为44.10亿元，国内市场规模为54.90亿元。
便携式制氧机是我国制氧机产业的重要组成部分，凭借体积小、重量轻、操作方便等特点，广泛应用于家用市场。2011年我国便携式制氧机市场规模为1.96亿元，到2021年我国便携式制氧机需求量达到196.60万台，国内规模为47.58亿元。
